����y(c��)��������IFM���b�

OGDϵ�Ђ������Ĝy(c��)�ྫ���_(d��)�����׼�(j��)�����|(zh��)�����Ƶȑ�(y��ng)���ж�λ��z�y(c��)���w���������֡�����Ҳ���ṩ������ֵ�����ڷ֒��΄�(w��)�е��R(sh��)�e�ȡ�ȫ��OGDϵ�Юa(ch��n)Ʒ�đ�(y��ng)�÷dz��V�����o(w��)Փ�ǰ��\(y��n)���g(sh��)���C(j��)���ˡ��b���Ԅ�(d��ng)����ݔ�ͼ��g(sh��)���������������Խ�Q�Ԅ�(d��ng)�����P(gu��n)���κΆ�(w��n)�}��

������ͨ�^(gu��)PMD ���g(sh��)�y(c��)�����x��ԓ���g(sh��)ʹ�������CMOS ������Ҫ�ɿ��ö�Ĺ��w�Еr(sh��)�g�����M(j��n)�Мy(c��)�ࡣ�������ڙz�y(c��)�����ʵ͵Ĺ������ɫ����r(sh��)��ԓ���������g(sh��)��(y��u)��(sh��)���@����ʹ��OGD���������ܙz�y(c��)���@�N���w�r(sh��)��ʹ��CMOS�������s�o(w��)���ṩ�z�y(c��)�Y(ji��)����

ͨ�^(gu��)PMD ���g(sh��)����ʹ���ٻ������K�ȶ�ɫ���wҲ�ܱ��ɿ��ؙz�y(c��)��

�������ƹ��ܺͼ��⼼�g(sh��)ʹ�� OGD��������ʹ�ܵ��Ƅ�(d��ng)�ͷ�����ⲿ�ɔ_Ҳ�dz��ɿ���

ԓ��������ʹ�ڵČ�(du��)��(zh��n)�Ƕ���Ҳ�ܙz�y(c��)�����w�������ǜy(c��)������������c���w�� 90�� �nj�(du��)��(zh��n)���ܙz�y(c��)�����w��

�ɿ��Ĺ�W(xu��)���x�y(c��)��

2 ��(g��)�_(k��i)�P(gu��n)ݔ�����Ɍ�����һ��(g��)���̞�ģ�Mݔ��

���{(di��o)���Ĝy(c��)�������ʹ��ڹ���

�m�����豳�����ƹ��ܵđ�(y��ng)��

��߸߶�ֵ[mm]6

���c(di��n)�ߴ煢��3,5 m

�������[[m]0...4

�y(c��)������[m]0.2...3.5; (��ɫ�⻬����)

�y(c��)���l��[Hz]1...50; (�A(y��)�O(sh��): 5)

���б���������OGD���������е���һ��(g��)��(y��u)��(sh��)����(d��ng)�ڂ��͎�ĩ�ˌ�(sh��)ʩֹͣ���ܕr(sh��)���������ƾͷdz����ã���ʹ�ý���݁�ķ��䲻��(hu��)Ӱ푂�������OGD������߀�ܿɿ��ؙz�y(c��)���в�ͬ�ɫ�����w���ڴˑ�(y��ng)���У���(g��)�_(k��i)�P(gu��n)�c(di��n)��(hu��)�|�l(f��)���͎��p�٣�����(d��ng)���w���_(d��)�ڶ���(g��)�_(k��i)�P(gu��n)�c(di��n)�r(sh��)�����͎��͕�(hu��)ֹͣ������PMD���g(sh��)�h(yu��n)��(y��u)�ڂ��y(t��ng)�������伤���������t���������������z�y(c��)�������ܽǶȺ��ɫӰ푣���˼�ʹ���W�����ٱ�����y�ԙz�y(c��)�����wҲ�əz�y(c��)���������M(j��n)�С��ɿ����ھ��|(zh��)���z�飬���ڱO(ji��n)�y(c��)��(x��)С�W��������ͷ����ʲ�������O �έh(hu��n)���X݆�ȣ������_λ�úͷ���

��ʹ�ڲ����������l���£�OGD������Ҳ�ܿɿ��ؙz�y(c��)���w������������(hu��)���^(gu��)������ϻ����ֲڵIJ��ϣ��粭�������@Щ����ͨ���в�ɫ����ɫ�O(sh��)Ӌ(j��)��

��(y��ng)��(du��)��׵��\(y��n)��(d��ng)�ٶȼ��Կ��ƣ����õķ�����ʹ�Æ��� ��(ji��)�y��(l��i)��(sh��)�F(xi��n)�� ����(ji��)���y���Ɇ����y�͹�(ji��)���y��“(li��n)���ɵ����������y�� �����ڿ��ƚ�׵��\(y��n)��(d��ng)�ٶȣ� ����Ҳ�Q���ٶȿ����y��  ��������Ԫ��ʹ�õ�IFM���������ǽӽ�IFM��������������IFM��������(du��)���ӽ������w ���е��������ԁ�(l��i)�R(sh��)�e���w�Ľӽ�����ݔ������(y��ng)�_(k��i)�P(gu��n)��̖(h��o)����ˣ��ӽ�IFM������ͨ��Ҳ�Q��� ���_(k��i)�P(gu��n)�� �ӽ�IFM�������ж�N�z�y(c��)��ʽ����������늴ŸБ�(y��ng)����ęz�y(c��)��(du��)��Ľ����w�Юa(ch��n)���Ĝu ����ķ�ʽ�� ��׽�z�y(c��)�w�Ľӽ������늚���̖(h��o)������׃���ķ�ʽ�� ���ô�ʯ������(d��o)�_(k��i)�P(gu��n)�� ��ʽ�����ù��Ч��(y��ng)�͹���D(zhu��n)�Q��������z�y(c��)Ԫ���ȵȡ� 

����y(c��)��������IFM���b�