SMC���  �˜���:�o��ʽ�x�ͅ���

�≺�����Ќ����s���w�ĉ������D�Q��Cе�ܵĚ�ӈ���Ԫ���������������ֱ���\�ӵĺ������͔[�ӵă��Ҋ�D����������ֱ���\�ӵĚ���ֿɷ֞�����á��p���á�ĤƬʽ�͛_�����4�N�� �����ن����Ú�ף��Hһ���л����U���Ļ���һ�ȹ�����ܮa���≺���≺�Ƅӻ����a����������������ɻ����ط��ء�
��ף�7�����������p���Ú�ף��Ļ����ɂȽ��湩�⣬��һ����ɂ�����ݔ������ ������ĤƬʽ��ף���ĤƬ���������ֻ��һ������ݔ�������Ï��ɏ�λ�������ܷ�ã����г̶̡� �����ܛ_����ף��@��һ�N����Ԫ�������щ��s���w�ĉ������D�Q��������٣�10��20��/�룩�\�ӵĄ��ܣ������������_����������ˎ��Ї��ں�й���ڵ����w�����w�ͻ����њ�׷ֳɃ���ǻ���^ǻ��βǻ���ҡ����V���������ϡ��_�ס�����ͳ��͵ȶ�N���I�������͔[�ӵĚ�׷Q�[�Ӛ�ף����~Ƭ����ǻ�ָ���������ǻ���湩�⣬ݔ���S���[���\�ӣ��[�ӽ�С�� 280�㡣���⣬߀�л��D��ס���Һ����׺Ͳ��M��׵ȡ�

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

����SMC ������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ� �M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�*��ͨ����ײ��õĹ������|�lj��s�՚⣬�����c�DŽ����죬���ٶȲ��׿��ƣ����d��׃���^��r�����׮a��������"������"�F�󣻶�Һ���ײ��õĹ������|��ͨ���J�鲻�ɉ��s��Һ���ͣ������c�DŽ��������׿죬���ٶ����ڿ��ƣ����d��׃���^��r�����ô�ʩ�î���һ�㲻���a��������"�͡�����"�F�󡣰њ���cҺ��������M��������ȡ�L�a�̣����ɞ���ϵ�y���ձ���õĚ�-Һ����ס���-Һ����׹���ԭ��Ҋ�D42.2-5�����H�ǚ���cҺ���״�“���ɣ��ɻ����̶���ͬһ�����U�ϡ�Һ���ײ��ñù��ͣ�ֻҪ��M�ͼ��ɣ����M�����g�b��Һ�������y�������y���a�ͱ���������Ҷ˹���r����׿˷��d�Ɏ���Һ���׻��������\�ӣ��������Ś⣩���˕rҺ����������ͣ������y�P�]����ֻ��ͨ�^�����y����Һ������ǻ���ͱ��ȣ��@�r�􌢹����y�y���_�󣬄tҺ������ǻ����ͨ�����ɻ����\���ٶȾͿ죬��֮���􌢹����y�y���PС��Һ������ǻ�������裬�ɻ����\���ٶȕ��p�����@�ӣ��{�������y�_�ڴ�С�����ܿ��ƻ������\���ٶȡ����Կ�������Һ����׵�ݔ�������ǚ���Љ��s�՚�a���������������������cҺ�������͵�������֮�

SMC���  �˜���:�o��ʽ�x�ͅ���