����SMC���  �ΗU�p���ù���һ�[

SMC���Ԕ�飺

�≺�����Ќ����s���w�ĉ������D�Q��Cе�ܵĚ�ӈ���Ԫ���������������ֱ���\�ӵĺ������͔[�ӵă��������ֱ���\�ӵĚ���ֿɷ֞�����á��p���á�ĤƬʽ�͛_�����4�N��

�ن����Ú�ף��Hһ���л����U���Ļ���һ�ȹ�����ܮa���≺���≺�Ƅӻ����a����������������ɻ����ط��ء�

���p���Ú�ף��Ļ����ɂȽ��湩�⣬��һ����ɂ�����ݔ������

��ĤƬʽ��ף���ĤƬ���������ֻ��һ������ݔ�������Ï��ɏ�λ�������ܷ�ã����г̶̡�

�ܛ_����ף��@��һ�N����Ԫ�������щ��s���w�ĉ������D�Q��������٣�10��20�ף��룩�\�ӵĄ��ܣ�����������

�_����������ˎ��Ї��ں�й���ڵ����w�����w�ͻ����њ�׷ֳɃ���ǻ���^ǻ��βǻ���ҡ����V���������ϡ��_�ס�����ͳ��͵ȶ�N���I�������͔[�ӵĚ�׷Q�[�Ӛ�ף����~Ƭ����ǻ�ָ���������ǻ���湩�⣬ݔ���S���[���\�ӣ��[�ӽ�С��280�㡣���⣬߀�л��D��ס���Һ����׺Ͳ��M��׵ȡ�

SMC�������

�����s�՚�ĉ������D�Q��Cе�ܣ��әC����ֱ�������\�ӡ��[�Ӻ����D�\�ӡ�

ֱ���\�������\�ӵĚ�ס��[���\�ӵĔ[�Ӛ�ס���צ�ȡ�

SMC������ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M�ɡ�

��Ͳ��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��SMCCM2��������ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ⣬�����c�����U�É��T朽ӣ�������ĸ��

���w���w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�

SMC������������������Ĵ�С���_�������U�ϵ��������������ɴˁ��x���וr��ʹ��׵�ݔ�����������������׏��xС�ˣ�ݔ�������򣬚�ײ����������������׏��^�󣬲��Hʹ�O�䱿�ء��ɱ��ߣ�ͬ�r�Ě������������Դ���M���ڊA���OӋ�r�����M�����������C�����Ԝp�ٚ�׵ijߴ硣�ձ�SMC�˜ʚ�׶��w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��SMC������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ��M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�

SMC���  �ΗU�p���ù���һ�[