SUNXҺ�w�z�y���w,����U��΢�͹�늂�����

����ȫ�Ĺ��w�͂����������ǹ��w����������˿����л�Ļ�ըΣ�U�ą^(q��)��ȫʹ�á������������ϸ��߰�ȫ�˜ʵ�Ҫ�󣬰���SEMI S2��

ʹ�÷����ҙz�y�ɿ����ڴ˂��������S����(j��)�ܵ���ֱ����������˿ɑ����ڸ��N�Π�ͺ�ȵĹܵ��������c��Ҏ(gu��)������ȣ��ܵ����Π�ͺ�Ƚz����Ӱ푴˂������ġ�

���ܚ��ݻ�Һ��Ӱ푣��z�y�ɿ����ڲ����˵Ĺ��w���g����ǰ�Ĺܵ����bʽ���������������T����ݣ�Һ�λ�B©�Ȇ��}���ѽ�Q��

�����OӋ��������ҕ�oҺ�w���������Į�����r��Һ�w�r������Һ�w��͸�RЧ�����ɾ۹������B(t��i)��

�z�y��λ�����γߴ�ͱ���˾�����a(ch��n)Ʒ��ͬ��ͨ�^��Ͷ��•�ܹⲿ�ֺ�ȸ��p��0.5mm����ʹͶ��•�ܹ��g���U��1mm����󽵵��˙z�y���w�͙z�y��λ�l(f��)���_����Σ�U�ԡ�
����(j��)Ͷ�⡢�ܹ��ӛ�p���{(di��o)��
�ɏ�ǰ��•���Ҍ����S������λ���M�д_�J�����p���{(di��o)���z�y���w��λ�á�
���������ǶȄ���ָʾ��
���dͶ��r���ԄӴ��_�Ĵ������I(y��)ָʾ������ɫ�������H�����M�Џ��Ϸ��_�J��߀�ɏĂ����M�д_�J��
С�ɾo��
�͹�˾�����a(ch��n)Ʒ���b�ݾ���ͬ��ȫ���C�N���F(xi��n)���ʡ���g����
����߀���p���ÓQ�����a(ch��n)Ʒ��
 M3�ݽz�p�ɰ��b��
��M3�ݽz�̶�ס2���c�����ɺ����M�а��b��
(M3�ݽz•�|Ȧ��Ո����Ϊ��ʂ䡣)
���ҵ����•�_��

SUNXҺ�w�z�y���w,����U��΢�͹�늂�����