�ձ�SMC���ܜp���yIR2020-02-A�aƷ���ý�B

��Ě���:���p�ټs90%(�c�����aƷ���)

�������:���s2��(�c�����aƷ���)

���p��:���s�p��27%(�c�����aƷ���)

�����ж�:0.2%(�Mֵ)

���؏;���:±0.5%(�Mֵ)

�߾��ȉ������ƣ��܉�ݔ�����w�ĉ��������������^�߾���ˮƽ��һ����_�� 0.1% �ľ��ȣ�����ϵ�y�ṩ�����Ě�Դ������

�ɿ��Ըߣ����ø��|���IJ��Ϻ;��ܼӹ����g���죬���иߏ��ȡ��͸��g����ĥ�p�����ԣ����ڏ��s�Ě��w�h�����L�ڷ����\�С�

�Y���o�����w�eС�������p��ռ�ÿ��g�٣����ڰ��b�ͼ��ɵ����N���ϵ�y�У��m�Ͽ��g���޵İ��b���ϡ�

��N���w�m�ã��m���ڿ՚⡢���⡢���⡢���⡢������̼�ȶ�N���w���|���ܝM�㲻ͬ���wϵ�y�ĉ�������Ҫ��

���b���㣺�����мܪ������b���c�F�ڵ�ģ�Kʽ�^�V�M��Ԫ�� AF �� AFM ֱ�Ӱ��b���˜���Ҳ����尲�b��

���w�ߴ�22

�����O������20.01��0.8MPa

�Śⷽ��0�����Ś�

�ݼy�N�-Rc

�ӹܿڏ�021/4

���x�a-�o���b���x�

���x�b-�o����Ӌ+�o���������ñ���b(��尲�b��)

�ʘ˜�b-��������ң���݆���ϣ��aƷ���ƺ͉������Ć�λ��ʾ��Mpa

��ʽ���w�y

ϵ��IR

�������B�ӿڏ�1/8

ʹ�����w�՚�

�h���ضȼ�ʹ�����w�ض�-5��60 ��

���C�͉��� [MPa]1.5 MPa

ʹ�É���1.0 MPa

ʹ�ÈR�� [MPa]�O������+0.05MPa MPa

�؏;����Mֵ��±1%�ԃ�

�ձ�SMC���ܜp���yIR2020-02-A�aƷ���ý�B