�x�񷽷�SMC��(sh��)��ʽ�����_�P(gu��n) ��������

���cһ�[:

ԓ��̖ݔ���O�����ϵ�y(t��ng)����(j��ng)����ϵ�y(t��ng)���F(xi��n)�������ã���ˮ����С�چ��������r��ˮ���_�P(gu��n)ݔ��"��"����̖������ϵ�y(t��ng)�a(ch��n)���c�����෴�Ŀ������á��Q��Ԓ�f����:ˮ���_�P(gu��n)����·�е�ˮ��������1L/min�����r����о��ˮ�������®a(ch��n)��λ�Ʋ����Ӵ�Դ�a(ch��n)���ſ�����ʹ������ݔ��"1"�_�P(gu��n)��̖,ԓ��̖ݔ�뵽�O�����ϵ�y(t��ng)����(j��ng)���ʔU�Ŵ�󌍬F(xi��n)��ˮ�������Ƶ�Ŀ�ġ�����·�е�ˮ����С��1L/min�����󣬴�о�ڏ�λ�������������Ž��Ӵ�Դ��λ��ʹ������ݔ��"0"�_�P(gu��n)��̖,ֹͣϵ�y(t��ng)�Ĺ����������_�P(gu��n)�����`���ȸߡ��;��ԏ��ȃ�(y��u)�c ��

��׷��4���扺��/���ضȂ�������(sh��)��ʽ�����_�P(gu��n)(ģ�Kʽ)

���m�����w���՚⡢N2

����{(di��o)���� 100��1

������푑��r�g1 / 2 / 5 s

ģ�Mݔ��푑��r�g1 / 2 / 5 s

�����������ֱͨ��

�m�����w����՚� / N2

�����z�y��ʽ��ʽ(MEMS)����ʽ

�O����������:˲�r����30��3150 L/min

 1�_�ɜy���ďV������

��������ˮ�����s�|(zh��)�������

��ʽ7�@ʾһ�w��

�~����������(��������)0330��3000L/min

������ʽH��������

�ݼy�N�-Rc

��ܿڏ�101

ݔ��Ҏ(gu��)��FSOUT:PNP;FUNC:ģ�M���ݔ�� �ⲿݔ��

���x�-��M12���^����(3m)

��λҎ(gu��)��-����λ�ГQ����

��̖:

AV5000-06-5DZ

VT307-5D-02

AR20-02BG    

AR40-04G  

CDQ2A50-100DCZ

CDUK16-20D  

SY9220-5D-03

CQ2A50-50DMZ

CQ2A80-75DMZ  

052BBDZ2ML00061��

R434001743

KQ2T12-00A

KQ2H10-03AS  

SMC 늚�����y ITV2050-323CL2  

AMJ3000-03  

AMJ-EL3000

MDBB32-200Z

MHZL2-16D

CM2RKA32-40

��� SMC CDQMB16-10

�x�񷽷�SMC��(sh��)��ʽ�����_�P(gu��n) ��������