�����˽�SMC���F���x��AFMϵ��
ˮ�������x�����������ٱ������ٱ���߀���Ԏ�ҺλӋ(j��)��߀��������ˮ�ܵ���ʽ�ȡ�.
4��SMC AM���F���x��ע�����(xi��ng)
SMC AM���F���x����ʹ��ע�����(xi��ng)Ո(q��ng)��ҊAFFϵ������·�^�V��ʹ��ע�����(xi��ng)��.
SMC AM���F���x���b��늴Ō�(d��o)�y���g϶�ܷ⻬�y�Ě�Դ��zui���m��
2��SMC AM���F���x���Y(ji��)��(g��u)ԭ��
SMC���F���x�� AM���F���x��
SMC AMϵ�����F���x���cAFFϵ������·�^�V�������w�Y(ji��)��(g��u)��ƣ��H�Vо���ϲ�ͬҊ��D��
SMC AMϵ�����F���x���Vо�Լ�(x��)�w�S���Ϟ������ɶ˿����z�ܷ⡣
���ڞVо�^�V��e���ҞVо�н��ٹǼܣ�����ʹ�É����L���ɲ�����ǰ���^�V����.

�����˽�SMC���F���x��AFMϵ��

��ȥ��95%�w���� 1mg/m^3 2���
����������0.1MPa�r(sh��)���Q�Vо
3��SMC AM���F���x���x�÷���
����(j��)ͨ�^���F���x��zui���������ɶ����S��zui���������x�����F���x����Ҏ(gu��)��
���x�����F���x�����������ܣ����Ƿ����Ԅ�(d��ng)��ˮ��
AM150-N02-J AM350-04B AM450-06D AM650-14BD
AM200-02 AM350-04BC AM450-06-R AM650-14BD-T
AM150-03D AM350-03C AM450-06B AM650-10D-R-X6
AM150-03D-T AM350-03D AM450-06BD AM650-10D-X6
AM150-N02BD AM350-03D-X20 AM450-06BD-T AM650-10-X6
AM150-N02C AM350-03-X20 AM450-06BD-X20 AM650-14
AM150-N02D AM350-04 AM450-06B-T AM650-14B
AM250-02 AM350-04BC-R AM450-06-T AM650-14BD-X6
AM250-02B AM350-04BC-T AM450-10 AM650-14B-J
AM150-03BC-T AM350-03B-T AM450-04D AM650-10BD-T
AM150-03BD AM350-03B-X18 AM450-04-X34 AM650-10D
AM150-03C AM350-03B-X240 AM450-06 AM650-10D-J