���¿͚���y�a(ch��n)Ʒϵ��,AIRTAC�DƬ
��ˮƽ���bҲ���Դ�ֱ���b������ֹ���y������P(y��ng)�̴���0.1MPa�r��
��rᘰ���ͨ�_��Ȼ����형r���u�P(gu��n)�]�{(di��o)���y��
�P(gu��n)�]�^���г��ډ�������u����ֱ�����ډ�������Ҫ�P(y��ng)�̕r��
����ɳ��{(di��o)��(ji��)������(f��)���]ˮ��2-3�Σ�ÿ���\(y��n)��3-5��犣�
���ډ�����׃������{(di��o)ԇ������ҕˮ�|(zh��)��r��(y��ng)��(j��ng)���z����ډ���ֵ��
��(d��ng)���ډ���С���O(sh��)��ֵ�r����(y��ng)�_���^�V���ų����
������ʽ�Y(ji��)��(g��u)���ܷ��Ժã�����(y��ng)�`����
2����λ�Ú���y�����N���g���ܿɹ��x��
3���p�^��λ�Ú�ؾ���ӛ�����ܣ�
4����(n��i)�ײ������⹤ˇ�ӹ���ĥ������С�����Ӛ≺�ͣ�ʹ�É����L��

���¿͚���y�a(ch��n)Ʒϵ��,AIRTAC�DƬ
5���o����͝�����
6�����c���������y�M����(ji��)ʡ���b���g��
����y�Ļ�ϳ�ˮ��̎���b��һ������Ԫ����
���øМ�ԭ���������Ƅ��y�w��(n��i)�yо�Ƅӣ���»����_���䡢��ˮ���M(j��n)ˮ�ڡ�
�ڷ����ˮ��ͬ�r�_����ˮ����(d��ng)�ض��{(di��o)��(ji��)���o�O(sh��)��ijһ�ضȺ�
��Փ�䡢��ˮ�M(j��n)ˮ�ضȡ��������׃����
�M(j��n)���ˮ�ڵ��䡢��ˮ����Ҳ�S֮׃����
�Ķ�ʹ��ˮ�ض�ʼ�K���ֺ㶨��
�{(di��o)�����o���ڮa(ch��n)ƷҎ(gu��)���ضȷ�����(n��i)�����O(sh��)������ػ�ˮ�y���ԄӾS�ֳ�ˮ�ضȡ�
����y�ǟ�ůϵ�y(t��ng)�����׮a(ch��n)Ʒ���V����(y��ng)����늟�ˮ����̫��ܟ�ˮ�������й���ˮϵ�y(t��ng)��