SMC�^�V�����^�Vо�ɂ���Щʲô�^�e
    SMC�^�V�����ڝ����Ҽ��ܿحh�����Ѱ��b���˵��^�V���M�В���z©���F���z©(��z��ȫ�z),�@���^ȥ��“��˜�209������*���g�l��203��������������ֵ�NASA�˜��Լ��F�ڵ�ISO�˜ʶ�Ҏ���˵�,�҇����P�˜�Ҳ�����⡣
    SMC�^�V����ͬ����,�^ȥ����˜ʶ�Ҏ���ù��Ӌ�����˹��l�m(DOP)��z©,�������Ν���^���Ν��10-4�r����©,���ں�����^�V���@һ��ֵ�@Ȼ�Dz��m�õġ����҇��˜�JGJ 71-90��������ʩ�������Ҏ����(���º��Q“Ҏ��”),������Փ�о��ɹ�[1],�ڇ��������_Ҏ��������Ӌ�������z©,�����ô��m,��Ҫ�r��DOP��
    SMC�^�V�����@��Ҏ����:“�ڱ��z�^�V�����L�Ȝy�����m��΢����,��≥0·5μm΢�����,���ȱ��≥3·5×104��/L;���z�y�^�V��,�t��≥0·1μm΢�����,���ȱ��≥3·5×106~3·5×107��/L��”
    SMC�^�V�������@һҎ���z©�r,���ھ��^�V������2~3cm̎���衣���u���˜ʞ�“���ܙz�^�V�����L�Ȝy����©й��ȓQ��ɵ�͸�^��,�����^�V��,���������^�V�����S�ϸ�͸�^�ʵ�3��,�����^�V��,�������ڳ��S�ϸ�͸�^�ʵ�2����”(“Ҏ��”ԭ��“3”��“2”ӡ����,Ҏ���f���nj���)�@һ�z©�˜ʱ�����S���˜ʡ�Ҏ��,�����ġ���ӏS���OӋҎ����(������)�����á�
    SMC�^�V������,�@һ�z©�˜��ڌ�ʩ�в�δ�õ�����,һ�����̫��,��ʹ��Ҏ�����Ν���_��3·5×104��/L,����zui�͵�A��^�V��(�c�淨Ч�ʞ�99·9% )���ɾ��Ќ�≥0·5μm΢���_99·999%��Ч��,������3����͸�^��zui����1��/L΢��,Ҳ���Ùz��;
    SMC�^�V�����ÿһ�_�^�V����͸�^��Ҳ���y�¸�ʴ_������*�ԁ�,�ڌ��y��ʹ�õ���һ�N���㷽��(���ڲ�����ISO 5�ĝ����h��),��,��Ӌ�^�V��ǰ���(�J�鶼����Ҫ��,ԔҊ����),ֻҪ����������Ӌ����(2·83L/min),ÿ����x������������,���J�鲻©��������PҎ���и��Ō���3��/L����ޡ�
    �Œ��C��,��ISO 5�����^�߶Ȼ�������ij�߶ȵ�һ���^����ƫ��r,�����������z©,һ������ҵ�������©й�c��
    ����Ӌ���������@�ȹ��Ӌ������,���m�����@��DOP���]����Ⱦ�����������������˜�Ӱ�,��ijЩ������ˎ,�ԈԳ���DOP���Ӌ����ֱ��2005��, ISO 14644-1�����_ָ��:
    (1) SMC�^�V��ϵ�y�z©,����0·3μm�η�ɢ�����zЧ�ʲ�����99·995%���^�V��(�ஔ���҇�B~C��^�V��);
    (2) DOP���Ӌ��ֻ�m���ڮ����e���^�V���͹ܵ��ϵē]�l���ЙC�yԇ�����zጷų��Ě��w�������҃ȵĮaƷ��ˇ�����к���,����Oʩ���^�V���z©;
    (3)�˹������z������Ӌ�������m�����^�V��͸�^��≤0·0000005%�ęz©,��Ч��≥99·9999995% (���錦0·3μm΢��)�^�V���z©;
    (4)����Ӌ�������ȹ��Ӌ�������`��,��ɵ���ȾС,���z©���f���о���Ҳ���ٶ�;
    (5)*���μ�����˹������z��:�׻����������}�������������۱���ϩ���z��ȡ��ɴ˿�Ҋ, ISO�˜ʳ�ֿ϶�������Ӌ������,�����ښ����zԴ��Ҳ�����˴������z�����ھ��w�����������ؽ�B�l���˹������z,�]�н�B���m�����z�Ŀ����ԡ�
    �@��ʹ�z©�����������y,�oϵ�y���^�V�����¸������|��������Լ�������Ӌ����,���ô��m��z©,�t�ǹ�����zui���ݵ��k�������ڬF���z©���^�V������Ч�ʲ������dȤ,���P�ĵ����Пo©��©й,��Փ�ηNЧ���^�V��,ֻҪ��©��,��ǰ�󉺲�һ��,�Ͷ�����ͬ��©й�������ֻ��_��©��©,����©�Ķ������o��Ҫ,���@һĿ����,߀���Ū������†��}
    SMC�^�V�����M�а��b֮ǰǧ�f�����S���_����bĤ���߰��b��������Ҫ��������b���ϵ�ʹ���f�������M�д���^�V�����O���ڰ��\���^������Ҫ�p���Լ��p�ţ��@�ӿ�����һ���̶��ϱ�����F���ҵ���ײ�Լ���ӡ�
    SMC�^�V���İ��b�����������_�ģ���Ҫ���ò��y��M���^�V�����Q���b�r���䲨�y����Ҫ��Ч�Ĵ�ֱ�ڵ��棬�O�����Q���Լ����֮�g���B�ӣ��LJ������F�B©��׃�Ρ��Ɠp��©�z�ȡ�
    SMC�^�V���ڰ��b֮����Ҫ��Ч�ı��C��ȱڵ��坍�ҟo���m�ȣ�����Ҫ�ęz򞷽������ֱ�Ӳ��ð׾I�����Ùz�飬�^�V�����bǰ��Ҫ���䝍�����҃��M��ȫ�������Լ�������
    SMC�^�V���ĺ���λ�þ���о�������^�Vо�ڼӹ����^����ֱ�����ɲ��P�䓽z�W�Լ��^�V����M�ɣ������Dz��P䓵�䓽z�W�dz����׾͕��p�ģ�������Ҫ�M���؄e�ı��o��
    SMC�^�V���ڹ����^һ�Εr�g�Ժ����O���о�Ⱦ͕�������һ�����s�|���@���O���Љ����������@���O�������Ҳ���½����@����Ҫ���r��������O��Vо�ȵ��s�|��
    SMC�^�V��������s�|���^������Ҫ�؄eע�����^�Vо�ϵIJ��P䓽z�Wǧ�f���ܳ��F�p���Լ�׃�ε���r����Ȼ���b��ȥ���^�V�����^�V��Ľ��|�������_�������OӋҪ��ġ�
    һ��SMC�^�V�����b��ע��Ć��}
    1.�����������^SMC�^�V����������zui������
    2.�^�V��һ��Ҫ���b�ں���s���̓����֮�󣬱M������ʹ���c�͜ض�zui���c��
    3.�^�V���������b�ڿ����_���y֮�󣬲���ֹ�����͛_���F��
    4.�^�V������ֱ���b�������·����������g���Q�Vо��
    5.�^��SMC�^�V���ڹܾ��Б����m��֧�Ρ�
    ����SMC�^�V���Ĺ���Ԕ������
    ��ˮ�M���M��,���������M�뼚�W�����ģ�Ȼ����ˮͨ�^���W������������M����ڡ���ˮ�^�V�����V�㣬����Ĺ��w�ۼ��ڼ��W�ăȱ����ϣ��γ�һ�N�^�V������^�V���������Ǹ������w�����γɉ��һ�������_���A�Äe��һ����ϴѭ�h�ɿ���ϵ�y���ͨ�^���_��ϴ�y�������̎���P�]���x�Ŀ��Ƴ����y����ˣ�������Һ��늙Cœ���b������m���С������γ�һ���؛_�������պY�W�ϵĻ҉m�����һ�������ϴ������ϴˮ�ڱ��ų�Һ��늙C��֮ǰͨ�^��������m����·��ˮ���ų�Һ��늙C������m���D�ӣ��c�����C��ơ�Һ��늙Cœ�еĉ������Mһ����ʹ���m�������Һ���������Ƴ��S���Ƅӣ��Y���ƄӴ_��ÿ���h�����������Y�W�^��