FESTO������Փ����Ҫ��B����Щ
FESTO������������И�(bi��o)��(zh��n)��ݔ��ģʽ�������y(t��ng)�Ĵ��w�e�����܂������������y�M������Ҫ�������������𲽱����N��ͬ��͵ĸ�΢�͂�������ȡ����������Ҫ�ɹ���Ϙ�(g��u)�ɣ������w�eС�������p������(y��ng)�졢�`���ȸ��Լ��ɱ��͵ȃ�(y��u)�c(di��n)������1.1 ��Ӌ��C(j��)�o���O(sh��)Ӌ��CAD�����g(sh��)��΢�C(j��)�ϵ�y(t��ng)��MEMS�����g(sh��)���l(f��)�Ă�����΢�ͻ�����Ŀǰ���׺����еĂ����������ɂ��y(t��ng)�ĽY(ji��)��(g��u)���O(sh��)Ӌ�����Ӌ��C(j��)�o���O(sh��)Ӌ��CAD����ģ�Mʽ���̻��O(sh��)Ӌ�D(zhu��n)׃���Ķ�ʹ�O(sh��)Ӌ�߂��܉����^�̵ĕr�g��(n��i)�O(sh��)Ӌ���ͳɱ����ߵ�����ϵ�y(t��ng)���@�N�O(sh��)Ӌ�ֶεľ޴��D(zhu��n)׃�ںܴ�̶����Ƅ���������ϵ�y(t��ng)�Ը�����ٶ������܉�M��Ƽ��l(f��)չ�����΢�ͻ��ķ���l(f��)չ����������΢�C(j��)�ϵ�y(t��ng)��MEMS�����о�����ʼ��20���o(j��)60��������о������漰���ϿƌW(xu��)���C(j��)е���ơ��ӹ��c���b��ˇ����Ӽ��g(sh��)�Լ��������͈�(zh��)�����ȶ�N�W(xu��)�ƣ���һ��ǰ�������d�о���MEMS�ĺ��ļ��g(sh��)���о�΢����c΢�C(j��)е�ӹ��c���b���g(sh��)������Y(ji��)�ϣ������܉��ɴ˶�������w�eС�ɵ����܏�(qi��ng)�������ϵ�y(t��ng)����(j��ng)�^��ʮ��İl(f��)չ������zui��ʮ������о��c�l(f��)չ��MEMS���g(sh��)�ѽ�(j��ng)�@ʾ���˾޴������������헼��g(sh��)����Ч���Ì���Ϣϵ�y(t��ng)��΢�ͻ������ܻ����๦�ܻ��Ϳɿ���ˮƽ��ߵ���һ���µĸ߶ȡ��ڮ�(d��ng)ǰ���g(sh��)ˮƽ�£�΢�����ӹ����g(sh��)�ѽ�(j��ng)���Գ������в�ͬ�Ӵε�3D΢�ͽY(ji��)��(g��u)���Ķ����Գ��w�e�dz�΢С��΢�͂���������Ԫ�����󶾚���������x�ӂ����������̽�y���@�ӵ��Թ����Ҫ��(g��u)�ɲ��ϵĂ���/̽�y�����b��*������Ԫ��[1]��[2]��Ŀǰ���@һ�Ԫ����������΢�͂���������Ҫ����Ԫ�����V����(y��ng)���ڲ�ͬ���о����С�